完全遵從歐盟的安全和環保的法規VOC Directive 1999/13/EC,因而我們確保FD 100V的排放大大低于目前的歐盟標準
并低于未來將執行的歐盟環保標準(Compliant with EN12921/4)。
Femto PCCE創新觸摸屏
適用制程研發,清潔，活化，蝕刻
具有5600升的真空容積,并配有PC控制系統,可用于批量生產(清洗、蝕刻和活化)腔室:寬2250 X 高 2450 X 深1000 mm
本系統可裝于機械手，也可于全自動生產線上使用
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